Erneuerbare Energien
Die hohe chemische Inertheit und Verträglichkeit gegenüber Reinstsilizium prädestiniert Si3N4-Bauteile für den Einsatz in der Photovoltaik.
Die hohe chemische Inertheit und Verträglichkeit gegenüber Reinstsilizium prädestiniert Si3N4-Bauteile für den Einsatz in der Photovoltaik.
Dies beginnt bereits bei den ersten Herstellungsschritten, wie der Synthese und Handling von Chlorsilan- und Polysilanverbindungen. Die Siliziumnitridkeramik ermöglicht es, Rohrleitungen, Kugelhähnen und Reaktorauskleidungen kontaminations- und wartungsfrei zu gestalten.
Das in den folgenden Prozessschritten hergestellte Reinst-Silizium lässt sich anschließend mithilfe von Siliziumnitridkeramischen Förderschnecken dosieren und fördern oder über verschleißarme Kompaktierwalzen aus Siliziumnitrid zu Pellets formen.
Nach der abschließenden Verarbeitung des reinen Siliziums zu Wafern können diese mit keramischen Greifern bewegt oder mittels Probecards geprüft werden (Wafer-Handling).
Verschleiß- und Kontaminationsprobleme in Beschickungs-, Strukturierungs- und Beschichtungsanlagen lassen sich ebenfalls durch Transportrollen, Blenden und Abschirmplatten oder Planar- und Rohrtargets aus Keramik lösen.
