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Siliziumnitrid SN-TC (Hochwärmeleitfähiges Si3N4)

Gesteigerte Wärmeleitfähigkeit bei vorteilhafter Werkstoffmechanik, Schadenstoleranz und Dichte

Die Sondervariante "SN-TC" zeichnet sich durch eine gegenüber SN-GP gesteigerte Wärmeleitfähigkeit aus. So werden durch chemische Modifikationen Wärmeleitfähigkeitswerte zwische 50 und 65 W/mK erreicht (vgl. SN-GP: 20 - 25 W/mK). Bei dem Werkstoffdesign wurde explizit darauf geachtet, dass die bei gasdruckgesintertem Siliziumnitrid vorteilhafte Werkstoffmechanik, Schadenstoleranz und Dichte erhalten bleibt. Interessant ist die Werkstoffvariante beispielsweise für gut temperierbare Waferträger oder -probecards, optische Spiegel oder thermisch wechselbelastete optische Bank-Komponenten.

Maximale Einsatztemperatur
1500 °C
TWB
ja
Säurebeständigkeit
ja
Lichtdurchlässigkeit
Biegefestigkeit
1020 MPa
Druckfestigkeit
3000 MPa
Dichte
3.4
Elastizitätsmodul
310
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