Siliziumnitrid SN-TC (Hochwärmeleitfähiges Si3N4)

Gesteigerte Wärmeleitfähigkeit bei vorteilhafter Werkstoffmechanik, Schadenstoleranz und Dichte

Die Sondervariante "SN-TC" zeichnet sich durch eine gegenüber SN-GP gesteigerte Wärmeleitfähigkeit aus. So werden durch chemische Modifikationen Wärmeleitfähigkeitswerte zwische 50 und 65 W/mK erreicht (vgl. SN-GP: 20 - 25 W/mK). Bei dem Werkstoffdesign wurde explizit darauf geachtet, dass die bei gasdruckgesintertem Siliziumnitrid vorteilhafte Werkstoffmechanik, Schadenstoleranz und Dichte erhalten bleibt. Interessant ist die Werkstoffvariante beispielsweise für gut temperierbare Waferträger oder -probecards, optische Spiegel oder thermisch wechselbelastete optische Bank-Komponenten.